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您的位置：首頁(yè)  -  產(chǎn)品中心  -  儀表，電子設(shè)備  -  osakavacuum  -  TG907M/TG1307Mosakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數(shù)據(jù)

osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數(shù)據(jù)

osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數(shù)據(jù)TG907M/TG1307M
操作數(shù)據(jù)、觸地次數(shù)、型號(hào)信息等可保存在主機(jī)中 * 即使在檢修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：TG907M/TG1307M
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間：2023-04-11
  • 訪  問(wèn)  量：1087
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產(chǎn)品詳情
材質(zhì)其他驅(qū)動(dòng)方式其他

osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數(shù)據(jù)TG907M/TG1307M

osakavacuum磁力軸承式渦輪分子泵 控制器 傳輸數(shù)據(jù)TG907M/TG1307M



新型磁力軸承式渦輪分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M的特點(diǎn)

 

  • 省電設(shè)計(jì)

  • 操作數(shù)據(jù)、觸地次數(shù)、型號(hào)信息等可保存在主機(jī)中 * 即使在檢修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。

  • 用法

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備　　

  • FPD制造設(shè)備

  • 太陽(yáng)能電池制造設(shè)備

  • 玻璃/透鏡等光學(xué)零件加工

  • 膠片加工

  • 加速器/空間環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備


■ 可在大氣壓力下連續(xù)運(yùn)行
　打開(kāi)時(shí)排氣速度 800L/min

 

■ 可能吸入蒸氣

　蒸汽處理量 500g/hr

 

■縮短排氣時(shí)間
　保持恒定的排氣速度直到到達(dá)近點(diǎn)

 

■ 風(fēng)冷規(guī)格

用法


?小型實(shí)驗(yàn)用真空
?load lock chamber抽真空、輸送
、分析、測(cè)量設(shè)備、吸附、輸送
、
加速器排氣
、密封、密封
、電子槍源、離子槍源排氣
、干燥
、濺射沉積等PVD設(shè)備的輔助泵排氣
、小爐排氣
、 TMP等高真空泵

模型FR060D
抽速(L/min)最大限度1000
開(kāi)放運(yùn)營(yíng)800
極限試驗(yàn)壓力（Pa）一般來(lái)說(shuō)1.0
氣鎮(zhèn)2.0
連接格式進(jìn)氣口 (西北) 40
排氣口 (西北) 40
最大水蒸氣處理量*1　 (g/hr)500
潤(rùn)滑劑體積 (mL)90后
功耗（千瓦）在極限壓力下1.1
最大限度1.3
電源電壓（V）200-240
頻率（赫茲）50/60
相數(shù)單相/三相
允許電壓波動(dòng)*2±10%
功率容量(kVA)3.0
電流 (A)單相11.1
三相6.5
冷卻方式空氣冷卻
大約質(zhì)量 (kg)75
環(huán)境溫度（℃）5-40






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